PECVD-DLC（等离子增强化学气相沉积 DLC）

描述

产品概述

本工艺PECVD-DLC等离子增强化学气相沉积类金刚石涂层，依托等离子化学气相沉积制备氢含量可控的非晶碳膜，具备低摩擦、高硬度、良好绝缘性；沉积温度较低，适配回火温度受限的精密钢材，涂层超薄不干扰螺纹配合精度，哑光黑色外观，满足RoHS环保规范，广泛应用精密机器人、光学、半导体设备紧固件，膜层组分可按需定制。

产品规格参数

产品优势

1、沉积温度低，可避免高温造成工件回火软化，适用热处理敏感钢材；

2、摩擦系数极低，具备持久固体自润滑，减少油脂使用，防螺丝咬死；

3、膜层致密超薄，尺寸变化极小，完整保留原始螺纹配合精度；

4、绝缘性能良好，化学稳定性强，哑光黑色具备优良消光效果；

5、膜层组分可调，可制备含氢/无氢DLC体系，适配不同工况需求。

应用领域

精密机器人微型关节紧固件、光学仪器避光零件、半导体真空设备组件、医疗器械精密螺丝、不耐高温热处理零件、高端自动化低摩擦零部件涂层处理。